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Métodos de deposição de filmes. Métodos de medidas de espessura e taxa de deposição. Mecanismos de formação, composição, morfologia e estrutura de filmes. Propriedades mecânicas. Propriedades ópticas. Propriedades elétricas. Aplicações de filmes finos.
- Professor: Rafael Gallina Delatorre
- Professor: Viviane Lilian Soethe Parucker
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